FFU(FanFilterUnit)是風機和過濾器的組合，也可稱為“自帶風機的過濾設備”。FFU通常安裝在潔凈室的送風末端，一般放置在吊裝的“干式”墊片密封龍骨框架上。FFU上面部分為風機模塊，下面部分為過濾器。根據潔凈度的要求，過濾器可為不同等級的(HEPA)或超(ULPA)過濾器，為潔凈室提供潔凈空氣。風機模塊除了要克服FFU下部高效過濾器的阻力，還要克服整個循環(huán)風所有通道部件的阻力，從而維持設定的運行風速。FFU系統(tǒng)具有設計施工簡便，風速調節(jié)靈活，潔凈區(qū)易于變更等特點，因此已成為工業(yè)潔凈室的流行系統(tǒng)形式之一

該機組設計整體靈活，便于與專用型吊頂骨架以及其他一些合適的骨架配合使用。當過濾器采用刀邊型框架時，這種機組也可用于液槽密封吊頂骨架，根據設計的規(guī)格，他可輕而易舉配合任何吊頂骨架，達到潔凈等級要求。外框可選用鋁質或不銹鋼，各具特色。采用這種機組，可以為潔凈室輸送高質量的空氣，而且空氣流通好。它適合用于半導體、電子、平板顯示器和磁盤驅動器的廠家及光學、生物工業(yè)及其他對空氣中污染有嚴格控制要求的地方。

一般萬級無塵室所用的高效過濾器，它能對空氣中粒徑為0.3um的微粒子過濾效率達到99.99%，出風風速0.4m/s，**大不能有超過20KG以上的外力作用于過濾器上，以免破壞過濾器組織架構。

FFU的特點：

**：靈活性。

因為FFU是自帶動力的，它不受區(qū)域的限制。在一個偌大的潔凈廠房里，可根據需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導體生產工藝的變化，廠房布局*然要作相應調整，FFU的靈活性使得這樣的調整變得輕松，而且不會帶來二次投資。

第二：可再利用性。

從理論上講，一時不用的FFU設備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三：負壓通風。

這是FFU的**特點。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風靜壓箱相對于潔凈廠房負壓。這樣，靜壓箱內的顆粒就不會受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。

第四：縮短建設周期。

使用FFU省掉了風管的制作和安裝，因為風管在潔凈工程中，占掉很大的建設周期，任何一個投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

第五：減少運行成本。

雖然在選用FFU時，初期投資要比使用風管通風高，但它在后期運行中，突出的表現出節(jié)能、免維護等特點。